Page 7 - Adlershof Journal September/Oktober 2017

TITELTHEMA

Forscher und Firmen in Adlershof treiben Entwicklungen rund um die Mikroelektronik voran. Vor allem das
Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik ist in der anwendungsorientierten
Forschung eine feste Größe. Als Teil der „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ wird das
Institut mithilfe weiterer Spezialisten auf dem Wista-Gelände Technologien von morgen auf den Weg bringen.

für Hightech aus einer Hand SENTECH Plasma Applikationsingenieure und Geschäftsführer Albrecht Krüger (2. v. r.) im hauseigenen Applikationslabor.

Hier werden Kundenproben prozessiert und auch eigene Forschung geleistet.

Industrie 4.0? Elektromobilität? Echtzeit-Kommunikations- Forschungsinstituten und insgesamt mehr als 2.000 wissen- Im Fokus der institutsübergreifenden Arbeit stehen die The- mittels Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition)
technologien? Ohne Mikro- und Nanoelektronik wäre all das schaftlichen Mitarbeitern bildet das Adlershofer Institut einen men siliziumbasierte Technologien, Verbindungshalbleiter und dünnste dreidimensionale Schichten auf einem Ausgangs-
nicht denkbar. Leistungsstarke Elektronik im Kleinstmaßstab der weltweit größten Pools für Technologien rund um Smart Sondersubstrate, Heterointegration sowie Design, Test und material hergestellt werden. Eine Technik, auf die das FBH
ist eine branchenübergreifende Schlüsseltechnologie, die die Systems. Das Bundesministerium für Bildung und Forschung Zuverlässigkeit. „Das FBH bringt vor allem seine Expertise bisher nicht zugreifen konnte. „Mikrooptik und Optoelektronik
digitale Transformation vorantreibt. Ein neuer starker Treiber unterstützt die FMD mit rund 350 Millionen Euro, wovon 117,2 bei der Entwicklung von energieeffizienten Halbleiterkom- sind ein wichtiges Zukunftsfeld“, betont Krüger, „deshalb hat
dafür wird die „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutsch- Millionen Euro nach Berlin und Brandenburg fließen, womit die ponenten ein“, sagt Tränkle. Bei uns in Adlershof werden die Forschungsfabrik eine große Bedeutung, auch für die Firmen
land“ (FMD) sein, mit der Anwendern Forschungsdienstleistun- je zwei Leibniz- und Fraunhofer-Institute ihre technologische neuartige Materialien erforscht sowie Bauelemente für die und Institute in Adlershof.“ Krüger ist sich sicher: „Von hier aus
gen entlang der kompletten Innovationskette aus einer Hand Infrastruktur modernisieren und ergänzen werden. Adlershof Elektromobilität, alternative Energien und die mobile Kommu- werden wichtige Impulse für die Technologie ausgehen.“ cl
angeboten werden sollen. spielt dabei mit dem FBH, das als eines der weltweit führen- nikation der Zukunft designt, berichtet Tränkle. „Wir entwickeln
den Institute für anwendungsorientierte und industrienahe zudem Bauteile für den Terahertz-Bereich, unter anderem für die
„Die FMD ist ein einzigartiges Angebot für die deutsche und Forschung in der Mikrowellentechnik und Optoelektronik gilt, zerstörungsfreie Prüfung und die Quantentechnologie, die
europäische Halbleiter- und Elektronikindustrie, mit dem diese eine bedeutende Rolle. „Adlershofer Institute und Firmen sind künftig eine abhörsichere Datenübertragung und hochpräzise
international gestärkt wird“, sagt Prof. Günther Tränkle, Direk- auf diesem Gebiet zwar schon recht gut aufgestellt, doch nun Messgeräte ermöglichen soll.“
tor des Ferdinand-Braun-Instituts, Leibniz-Institut für Höchst- bieten sich den lokalen Playern, etwa im Gerätebau, durch
frequenztechnik (FBH). „Die deutsche Forschung ist auf diesem den Ausbau der Infrastruktur sowie der engen Kooperation Bis zum Jahr 2020/21 werden aus dem Projekt 34,2 Millionen
Gebiet zwar schon sehr stark, aber eine gemeinsame Struktur zwischen Instituten und Industrie, noch bessere Möglich- Euro ins FBH fließen, womit unter anderem eine Fertigungs-
fehlte.“ Das ändert sich jetzt: Gemeinsam mit zwölf weiteren keiten“, sagt Tränkle. strecke für Terahertz- und Leistungselektronik-Bauteile unter
Reinraumbedingungen im Zentrum für Mikrosysteme und
SENTECH Cluster zur Anwendung Materialien entstehen wird. Die erste Maschine dafür steht
in Forschung und Entwicklung mit
drei Modulen schon bereit und ist startklar. Die mehr als eine Million teure
und vom Forschungsministerium geförderte Hightechanla-
ge kommt von der Adlershofer Firma Sentech Instruments, die
auf Geräte für die Plasmaprozesstechnologie, die Dünnschicht-
messtechnik und die Photovoltaik spezialisiert ist und seit mehr
als 20 Jahren mit dem FBH über Forschungsprojekte sowie die
Lieferung von Ausrüstung zusammenarbeitet. „Diese Koopera-
tion wie auch die Forschungsfabrik sind Quellen für neue Ideen“,
sagt Geschäftsführer Albrecht Krüger.

Die Maschine von Sentech für die FMD besteht aus drei Modulen,
von denen zwei dem „reaktiven Ionenätzen“ dienen, das heißt,
dass durch den Beschuss eines Materials mit kleinsten elekt-
risch geladenen Teilchen feinste Strukturen entstehen, etwa FBH-Direktor Günther Tränkle freut sich über die Finanzspritze, die sein
für die Waferherstellung. Zudem können mit der Anlage Institut als Teil der „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland” erhält

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