Niederländische Universitäten setzen auf SENTECH
Service und Flexibilität überzeugen beim Einsatz der Plasmaätzanlagen aus Adlershof
SENTECH Instruments gehört zu den führenden Anbietern von Plasma-Prozesstechnologie-Anlagen zum Beschichten sowie Ätzen und offeriert Ellipsometer zur Dünnschichtmesstechnik.
Die modernen Plasma-Anlagen basieren auf der von SENTECH entwickelten PTSA Plasma-Quelle (Planar Triple Spiral Antenna) für induktiv gekoppelte Plasmen. Die besonderen Eigenschaften des ICP-Plasmas erlauben insbesondere das schädigungsarme Prozessieren beim Ätzen und Beschichten sowie das Beschichten bei niedrigen Temperaturen. Die jüngste Produktentwicklung bei SENTECH erweitert die ICPECVD-Beschichtung um die Atomlagen-Abscheidung ALD (Atomic Layer Deposition). Die ALD-Anlagen stellen jetzt die neueste und innovativste Erweiterung der SENTECH-Plasma-Produktpalette dar.
Die TU in Eindhoven und die Universität in Groningen sind von dem breiten Anwendungsbereich des SENTECH-SI 500-Ätzsystems überzeugt. Mit einer einzigen SI 500-Anlage konnten, je nach Konfiguration der Gasversorgung, alle Anwendungen bestens gelöst werden. Ende 2013 kaufte jede der Einrichtungen einen Plasmaätzer mit je 6 bzw. 5 Gaslinien. Die Forschungseinrichtungen in Groningen und Eindhoven, welche vorab Geräte anderer Hersteller nutzten, sind überzeugt von der hohen Qualität der Plasmaätzanlagen aus der Serie SI 500 ICP RIE.
Aufgrund der sehr hohen Zuverlässigkeit der Anlage entschied sich Herr Johan Holstein, reinraumverantwortlicher Mitarbeiter der Universität Groningen, gezielt für eine SENTECH-Maschine. Diese Zuverlässigkeit erreicht SENTECH durch den Einsatz ausschließlich hochwertiger Komponenten in allen Anlagen.
Darüber hinaus war Herr Holstein von der sehr schnellen und reibungslosen Inbetriebnahme der Anlage beeindruckt, welche inklusive Einweisung in die Bedienung lediglich zwei Tage dauerte. Insbesondere war er vom kundenorientierten Service von SENTECH angetan: „Die Hersteller unserer Vorgängermodelle gingen auf unsere Verbesserungsvorschläge und individuellen Wünsche nicht immer ein. SENTECH hingegen konnte gerade im Hinblick auf die individuellen Forderungen der Anlagen und Prozesse punkten.“
Herr Holstein empfahl daraufhin die SI 500 an seinen Kollegen Dr. Huub Ambrosius aus Eindhoven, der sich nach sorgfältiger Prüfung ebenfalls für einen SI 500-Ätzer von SENTECH entschied. SENTECH freut sich auf die Zusammenarbeit mit den beiden niederländischen Universitäten und ist froh, mit der hervorragenden Qualität und dem umfassenden Service weiterhin überzeugen zu können.
Mehr Informationen zu den SENTECH-ICP RIE-Ätzern hier: http://www.sentech.de/en/ICP-RIE-SI-500__262/