Zentrum für Mikrosysteme und Materialien (ZMM)

Schwerpunkte

Mikrosystemtechnik (MST) ist eine wesentliche Grundlage für innovative Produkte. In der Regel beinhaltet die Produkt-Wertschöpfungskette die Halbleitertechnologien, die MEMS (microelectro-mechanical systems), das Packaging (einschließlich der AVT Aufbau- und Verbindungstechnologien), die Kalibrierung und die Systemintegration. In allen Wertschöpfungsstufen sind eine Vielzahl von Prüf- und Messverfahren notwendig.

In Adlershof arbeiten zahlreiche Unternehmen auf diesen Gebieten.

Das Zentrum für Mikrosysteme und Materialien (ZMM) in der Max-Planck-Straße hat eine Hauptnutzfläche von 6.500 m². Diese unterteilt sich in Reinräume, Büros, physikalische und chemische Labore und Lagerflächen.