15. Mai 2003

Weltrekord in der Spektroskopie

Adlershofer Laserfirma entwickelt neue Generation eines Spektrometers mit höchster Auflösung

ELIAS II ist das jüngste Modell in der Reihe höchstauflösender Spektrometer der LTB Lasertechnik Berlin GmbH. Mit einer minimalen messbaren Linienbreite von 60 Femtometern FWHM und 200 Femtometern E95 bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern bzw. einer spektralen Auflösung von mehr als drei Millionen ist ELIAS (Emission Line Analyzing Spectrometer) das einzige kommerziell erhältliche Spektrometer mit einer solch extrem hohen Auflösung. Das neue Echelle-Spektrometer ELIAS II ist das vorläufig leistungsfähigste der ELIAS-Baureihe, von der bereits 70 Systeme ausgeliefert wurden.

ELIAS-Spektrometer können auf dem Gebiet der optischen Lithographie, der Atomabsorptionsspektroskopie, der hochauflösenden Plasmaspektroskopie und der Laserdiodenentwicklung eingesetzt werden. Hauptsächlich werden sie für die spektrale Charakterisierung von Excimerlasern in der Mikrolithographie bei 248 nm, 193 nm und 157 nm verwendet. Sie bestimmen indirekt die Qualität der mittels der optischen Laserlithographie produzierten Halbleiterschaltkreise. Mit ELIAS II können Hersteller von Lithographielasern heute Lichtquellen mit Strukturbreiten von 90 nm anbieten.

Die spektrale Auflösung des ELIAS II bei 193 nm liegt bei 60 fm FWHM (d. h. 500 MHz bzw. 0,016 cm-1). Eine Messung der spektralen Reinheit einer Laserlinie ist nur dann möglich, wenn man mit einem sehr hohen Signal-Rausch-Verhältnis (typ. 20 000, > 40 dB) messen kann. Der Vorteil der ELIAS-Spektrometer gegenüber Fabry-Perot-Spektrometern ist, dass sie die spektrale Umgebung der zu messenden Laserlinie, insbesondere deren „Fußbereich“, quantitativ analysieren können.

LTB Lasertechnik Berlin GmbH ist ein führender Entwickler und Anbieter von Kurzpulslasern, laserbasierten Messsystemen und Messinstrumenten für Laser.

Weitere Informationen erhalten Sie unter www.ltb-berlin.de.