• Springe zu Management
  • Springe zu Hauptmenü
  • Springe zu Seiteninhalt
Adlershof Logo
  • WISTA
  • WISTA.Plan
  • WISTA.Service
WISTA direkt
Suche
  • Adlershof Logo
  • Firmen / Fakten
    • Firmen­suche / Institute
    • Wissen­schafts­stadt in Zahlen
    • Anfahrt / Karten
      • Bus / Bahn
      • Autoanfahrt
      • Fahrrad
      • Orientie­rungs­pläne
      • Virtueller Rundgang Adlershof
  • Aktuelles
    • Übersicht
    • News
      • Social Media Stream
      • Ausgezeichnet
    • Termine / Veranstaltungen
      • Science Slam
      • Dissertationspreis Adlershof
      • Lange Nacht der Wissenschaften
      • Jugend forscht
      • Diversity Conference
    • Adlershof Journal
    • Top-Themen
      • Adlershof Mission "Grand Challenges"
      • Circular Economy
      • Klimaschutz
      • Digitale Infra­struktur / 5G-Campus­netz
      • Innovations­korridor Berlin-Lausitz
      • Ausbildung / Nachwuchsförderung / MINT
      • Frauen und Mädchen in der Wissenschaft
    • Fotos / Flyer / Downloads
      • Zeitschriften­archiv
    • Podcasts
    • WISTA-Redaktion
  • Wirtschaft / Wissenschaft
    • Übersicht
    • Technologie­felder
      • Photonik / Optik
      • Biotech­no­logie / Umwelt
      • Mikro­systeme / Mate­rialien
      • IT / Medien
      • Erneuer­bare Ener­gien / Photo­voltaik
      • Analytic City
    • Außeruni­versitäre Forschung
    • Univer­sitäten / Hochschulen
      • Humboldt-Universität zu Berlin
      • Services für Studierende
    • Ausbildung / Nachwuchsförderung / MINT
      • Jugend forscht
    • Gründen
      • Adlershofer Gründungs­zentrum IGZ
      • Gründungs­werkstatt Adlershof
    • Netzwerke / Management
      • Forum Adlershof e.V.
      • Campus Club Adlershof
      • Fachkräftenetzwerk Adlershof
      • WISTA Academy
      • Gesundheitsnetzwerk Adlershof
  • Film / TV
    • Film und Fernsehen
    • Firmen
    • News / Termine
    • Locations
    • Kostümverleih
    • DDR-Filmarchiv
    • Tickets
  • Immobilien
    • Übersicht
    • Immobilien mieten
      • Büroräume / Labore / Flächen
    • Grundstücke
      • Grundstücke / Gewerbe­immo­bilien
    • ST3AM Arbeitswelten / Coworking
    • Wohnprojekte
    • Bauprojekte
      • Bauvorhaben
      • Architektur
      • Webcam
  • Service
    • Übersicht
    • Gastronomie / Sport / Kultur / Einkaufen
    • Kleinan­zei­gen / Jobs
    • Gesundheit / Soziales
      • Gesundheits­netzwerk Adlershof
    • WISTA-Gründungs- und Business Services
    • Eventservice / Touren / Hotels
    • Facility Management
    • Downloads
    • Online Redaktionssystem WISTA direkt
  • Kiez
    • Übersicht
    • Geschichte
      • Der Technologiepark seit 1991
    • Landschaftspark
    • Kultur
    • Technologiepark
    • Digitale Spaziergänge
  • WISTA
  • WISTA.Plan
  • WISTA.Service
WISTA direkt

Meldungen

  • Übersicht
  • News
  • Termine / Veranstaltungen
  • Adlershof Journal
  • Top-Themen
  • Fotos / Flyer / Downloads
  • Podcasts
  • WISTA-Redaktion
  • Adlershof
  • Aktuelles
  • Meldungen
18. September 2020

PTB und ZEISS verlängern Vereinbarung zur EUV-Reflektometrie

Durch Modernisierungen im PTB-Laboratorium bei BESSY II soll die spektrale und räumliche Reinheit monochromatisierter Strahlung verbessert werden

Ein wichtiges Arbeitsfeld der PTB an ihrem Standort Berlin-Adlershof ist die messtechnische Unterstützung der deutschen und europäischen Industrie bei der Entwicklung der EUV-Lithographie für die Halbleiterfertigung. Die seit 1998 bestehende enge Zusammenarbeit mit ZEISS bildet eine wichtige Grundlage für die kontinuierliche Weiterentwicklung der messtechnischen Fähigkeiten der PTB im extrem-ultravioletten Spektralbereich (EUV). Auf Basis der Nutzung von Synchrotronstrahlung zur Radiometrie, Reflektometrie und Scatterometrie sowie Kombinationen dieser und weiterer analytischer Verfahren zu Hybridmethoden entwickelt die PTB neue messtechnische Lösungen z.B. für die Halbleitertechnik und stellt ihre Messdienstleistungen ihren zahlreichen Kooperationspartnern aus Forschungsinstituten oder der Industrie zur Verfügung.

Mit der Unterzeichnung des nunmehr 9. Nachtrags zu der ursprünglichen Vereinbarung wurde die Zusammenarbeit mit ZEISS bis Ende 2024 verlängert. Durch eine Modernisierung der EUV-Strahlführung im PTB-Laboratorium bei BESSY II soll während der Vertragslaufzeit die spektrale und räumliche Reinheit der monochromatisierten Strahlung verbessert werden. Davon wird die Entwicklung neuartiger Messverfahren (basierend auf gut etablierten Messtechniken) für die Untersuchung strukturierter Oberflächen profitieren. Die gegenüber dem sichtbaren Licht kürzere Wellenlänge im EUV-Spektralbereich eröffnet neue Möglichkeiten zur Vermessung von Nanostrukturen auf Halbleitermaterialien. Neben dem für die Lithographie bedeutenden Wellenlängenbereich um 13,5 nm umfasst der Arbeitsbereich dieser Strahlführung auch den Spektralbereich des “Wasserfensters“ (2,3 nm bis 4,4 nm). Über diesen gesamten Spektralbereich entwickelt die PTB mikroskopische Analysemethoden mit kurzer Wellenlänge für die Halbleitertechnik, die zukünftig auch für weitere Technologiefelder wie z.B. die Medizintechnik (“Wasserfenster“) relevant werden können.

Ansprechpartner:

Michael Kolbe
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Fachbereich 7.12 Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung
E-Mail: Michael.Kolbe(at)ptb.de
www.ptb.de

 

Pressemitteilung PTB vom 15.09.2020

Analytik Außeruniversitäre Forschung Mikrosysteme / Materialien Photonik / Optik

Meldungen dazu

  • Vereinbarung zur EUV-Reflektometrie zwischen PTB und ZEISS bis Ende 2029 verlängert

    Zusammenarbeit stärkt das europäische Technologienetzwerk
  • Abb. Brechungsindex © PTB

    Katalog optischer Konstanten von 19 Materialien im EUV-Spektralbereich veröffentlicht

    PTB startet Datenbank, die die Entwicklung optischer Komponenten in der Halbleiterfertigung erleichtert
  • Neuer „Präzisionsmaßstab“ für Lichtquellen

    Metrology Light Source in Betrieb
  • PTB nimmt Synchrotron-Speicherring in Betrieb

    Bundesanstalt verfügt über weltweit breitestes Strahlungsspektrum der metrologischen Spitzenklasse
  • Neue Synchrotronstrahlungsquelle

    Einweihung des Willy-Wien-Laboratoriums der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB)

Verknüpfte Einrichtungen

  • Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB
  • LinkedInmitteilen0
  • Facebookteilen0
  • WhatsAppteilen0
  • E-Mail

Die Entwicklung des Wissenschafts- und Technologieparks Berlin Adlershof wurde und wird co-finanziert durch die Europäische Union mit EFRE-Mitteln; insbesondere Infrastrukturmaßnahmen wie der Bau von Technologiezentren. EFRE-Mittel werden auch für internationale Projekte verwendet.

  • © WISTA Management GmbH
  • Impressum
  • Datenschutz
  • Social-Media-Übersicht
  • FAQ
  • Kontakt
  • Presse
  • Newsletter
  • RSS
  • Werbung
  • International
Mitglied bei:
Zukunftsort Adlershof Logo