• Springe zu Management
  • Springe zu Hauptmenü
  • Springe zu Seiteninhalt
Adlershof Logo
  • WISTA
  • WISTA.Plan
  • WISTA.Service
WISTA direkt
Suche
  • Adlershof Logo
  • Firmen / Fakten
    • Firmen­suche / Institute
    • Wissen­schafts­stadt in Zahlen
    • Anfahrt / Karten
      • Bus / Bahn
      • Autoanfahrt
      • Fahrrad
      • Orientie­rungs­pläne
      • Virtueller Rundgang Adlershof
  • Aktuelles
    • Übersicht
    • News
      • Social Media Stream
      • Ausgezeichnet
    • Termine / Veranstaltungen
      • Science Slam
      • Dissertationspreis Adlershof
      • Lange Nacht der Wissenschaften
      • Jugend forscht
      • Diversity Conference
    • Adlershof Journal
    • Top-Themen
      • Adlershof Mission "Grand Challenges"
      • Circular Economy
      • Klimaschutz
      • Digitale Infra­struktur / 5G-Campus­netz
      • Innovations­korridor Berlin-Lausitz
      • Ausbildung / Nachwuchsförderung / MINT
      • Frauen und Mädchen in der Wissenschaft
    • Fotos / Flyer / Downloads
      • Zeitschriften­archiv
    • Podcasts
    • WISTA-Redaktion
  • Wirtschaft / Wissenschaft
    • Übersicht
    • Technologie­felder
      • Photonik / Optik
      • Biotech­no­logie / Umwelt
      • Mikro­systeme / Mate­rialien
      • IT / Medien
      • Erneuer­bare Ener­gien / Photo­voltaik
      • Analytic City
    • Außeruni­versitäre Forschung
    • Univer­sitäten / Hochschulen
      • Humboldt-Universität zu Berlin
      • Services für Studierende
    • Ausbildung / Nachwuchsförderung / MINT
      • Jugend forscht
    • Gründen
      • Adlershofer Gründungs­zentrum IGZ
      • Gründungs­werkstatt Adlershof
    • Netzwerke / Management
      • Forum Adlershof e.V.
      • Campus Club Adlershof
      • Fachkräftenetzwerk Adlershof
      • WISTA Academy
      • Gesundheitsnetzwerk Adlershof
  • Film / TV
    • Film und Fernsehen
    • Firmen
    • News / Termine
    • Locations
    • Kostümverleih
    • DDR-Filmarchiv
    • Tickets
  • Immobilien
    • Übersicht
    • Immobilien mieten
      • Büroräume / Labore / Flächen
    • Grundstücke
      • Grundstücke / Gewerbe­immo­bilien
    • ST3AM Arbeitswelten / Coworking
    • Wohnprojekte
    • Bauprojekte
      • Bauvorhaben
      • Architektur
      • Webcam
  • Service
    • Übersicht
    • Gastronomie / Sport / Kultur / Einkaufen
    • Kleinan­zei­gen / Jobs
    • Gesundheit / Soziales
      • Gesundheits­netzwerk Adlershof
    • WISTA-Gründungs- und Business Services
    • Eventservice / Touren / Hotels
    • Facility Management
    • Downloads
    • Online Redaktionssystem WISTA direkt
  • Kiez
    • Übersicht
    • Geschichte
      • Der Technologiepark seit 1991
    • Landschaftspark
    • Kultur
    • Technologiepark
    • Digitale Spaziergänge
  • WISTA
  • WISTA.Plan
  • WISTA.Service
WISTA direkt

Meldungen

  • Übersicht
  • News
  • Termine / Veranstaltungen
  • Adlershof Journal
  • Top-Themen
  • Fotos / Flyer / Downloads
  • Podcasts
  • WISTA-Redaktion
  • Adlershof
  • Aktuelles
  • Meldungen
30. Oktober 2017

Neues Verfahren für Charakterisierung von Nanostrukturen

Im PTB-Labor können jetzt auch sehr kleine Messfelder mittels Röntgen­kleinwinkel­streuung untersucht werden

Rasterelektronenmikroskop-Aufnahme. Abbildung: PTB
Rasterelektronenmikroskop-Aufnahme einer Teststruktur: Die metrologische Zielstruktur (periodische Linien) wurde gedreht zur umgebenen chaotischen Struktur aufgebracht, um die Streusignale in der Röntgenkleinwinkelstreuung separieren zu können. Abbildung: PTB

Im PTB-Labor am Elektronenspeicherring BESSY II in Berlin-Adlershof ist der Nachweis gelungen, dass auch Messfelder mit einer Größe von wenigen Mikrometern mittels Röntgenkleinwinkelstreuung in Reflexionsgeometrie unter streifendem Einfall charakterisiert werden können. Das Problem der Signalüberlagerung, weil der einfallende Strahl auch die Umgebung der Messfelder beleuchtet, kann dabei mit einem einfachen Trick umgangen werden. Die Idee dahinter beruht auf einer minimalen Drehung der Messfelder in Bezug zu den umgebenden Nanostrukturen.

Für die Qualitätskontrolle nanostrukturierter Oberflächen werden in der Industrie Testfelder aus periodisch angeordneten Strukturen eingesetzt. Unter anderem werden diese Felder in lithographischen Anwendungen über eine Photomaske verteilt, um die Qualität der umgebenden Waferstruktur, die nach dem Prozessieren die logischen Schaltkreise abbildet, zu kontrollieren. Aus Kostengründen sind diese Kontrollfelder meist auf unter (50x50) µm² in ihrer Fläche beschränkt. Für eine Charakterisierung dieser sehr kleinen Strukturen ist Röntgenstreuung ein idealer Kandidat. Die sehr kurze Wellenlänge von monochromatischer Röntgenstrahlung in Kombination mit der periodischen Anordnungen der Nanostrukturen erlaubt über die Diffraktion der einfallenden Strahlung die geometrische Form sehr präzise zu bestimmen.

Dieses Verfahren wird in der sogenannten Transmissionsgeometrie, also wenn die Strahlung die Probe durchdringen kann, auch schon sehr häufig eingesetzt. Die Absorption der Röntgenstrahlung bildet dabei aber eine natürliche Begrenzung für diese Methode, die die Dicke der zu untersuchenden Proben beschränkt. Röntgenkleinwinkelstreuung in Reflexionsgeometrie unter streifendem Einfall (GISAXS) umgeht dieses Problem. Wegen der für diese Methode notwendigen sehr kleinen Einfallswinkel verlängert sich jedoch die Projektion des einfallenden Strahls auf der Probe derart, dass es zu Überlagerungen des Signals der Testfelder mit dem Signal der umgebenden Struktur kommt. Aus diesem Grund wurde GISAXS bisher als Alternative für metrologische Anwendungen verworfen.

Teststrukturen, die in dem neuen Verfahren in Kooperation mit dem Helmholtz-Zentrum Berlin entwickelt und im Elektronenstrahl-Lithographieverfahren gefertigt wurden, konnten jetzt jedoch erfolgreich in der PTB durch GISAXS charakterisiert werden und demonstrieren das Potenzial dieser neuen Methode. Das Verfahren wurde kürzlich auch zum Patent angemeldet.
 

Ansprechpartner:

Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Fachbereich 7.1: Radiometrie mit Synchrotronstrahlung
PTB-Labor bei BESSY

Mika Pflüger
E-Mail: Mika.Pflueger(at)ptb.de
Tel.: +49 30 3481-7118

Victor Soltwisch
E-Mail: Victor.Soltwisch(at)ptb.de
Tel.: +49 30 3481-7129
 

Publikation:

M. Pflüger, V. Soltwisch, J. Probst, F. Scholze, M. Krumrey, IUCrJ 4, Grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) on small periodic targets using large beams, 431-438 (2017)
 

Siehe dazu auch PTB-Nachricht: Rekonstruktion von nanostrukturierten Oberflächen durch Röntgenkleinwinkelstreuung (GISAXS)

Analytik Außeruniversitäre Forschung Mikrosysteme / Materialien Photonik / Optik

Meldungen dazu

  • Shit2Power: Nina Heine und Fabian Habicht © WISTA Management GmbH

    Wenn nicht wir, wer dann?

    Wie Adlershofer Unternehmen und Institute mit globalen Herausforderungen umgehen
  • Simulation der Röntgenfluoreszenz-Emissionen © PTB

    Röntgenstreuung und Röntgen­fluoreszenz für die 3D-Nanometrologie

    PTB entwickelt neuen Algorithmus für die Rekonstruktion atomarer Verteilungen in 3D-nanostrukturierten Oberflächen
  • Röntgendetektor der PTB Berlin Adlershof, Bild: @ Adlershof Journal

    Ein „Lineal“ für Nanoobjekte

    Neuer Röntgendetektor zur Früherkennung von Krankheiten

Verknüpfte Einrichtungen

  • Physikalisch-Technische Bundesanstalt PTB
  • Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Elektronenspeicherring BESSY II
  • LinkedInmitteilen0
  • Facebookteilen0
  • WhatsAppteilen0
  • E-Mail

Die Entwicklung des Wissenschafts- und Technologieparks Berlin Adlershof wurde und wird co-finanziert durch die Europäische Union mit EFRE-Mitteln; insbesondere Infrastrukturmaßnahmen wie der Bau von Technologiezentren. EFRE-Mittel werden auch für internationale Projekte verwendet.

  • © WISTA Management GmbH
  • Impressum
  • Datenschutz
  • Social-Media-Übersicht
  • FAQ
  • Kontakt
  • Presse
  • Newsletter
  • RSS
  • Werbung
  • International
Mitglied bei:
Zukunftsort Adlershof Logo