27.05.2003
Adlershofer Forscher an Entwicklung eines EUV-Reflektometer beteiligt
Fraunhofer IWS Dresden entwickelt und baut Reflektometer in Zusammenarbeit mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Berlin (PTB), Max-Born-Institut Berlin (MBI) der Bestec GmbH Berlin :
- Erstmals in Europa wurde ein kompaktes Reflektometer mit der Arbeitswellenlänge im Bereich des Extremen Ultraviolett (EUV) bei 10 - 16 nm entwickelt und aufgebaut. Dieses EUV-Reflektometer entstand in einem vom BMBF…